SEM-EDX를 통한 확장 분석

SEM-EDX 확장 분석

광학 분석에서는 검출할 수 없는 (혹은 어려운) 입자라도 SEM 분석에서는 검출할 수 있습니다. 또한 EDX 스펙트럼 분석도 가능합니다.


NaCl (염) 광학 현미경 이미지 : 입자가 거의 검출되지 않음	NaCl (염) SEM 이미지

SEM 이미지는 광학 현미경 이미지와 보이는 방식이 달라 그로 인해 더 많은 정보를 확인할 수 있습니다.

광학 이미지	SEM 이미지


커런덤(Corundum) : 광학 이미지	커런덤(Corundum) : SEM 이미지

일부 입자(유리, 연마제)는 심각한 위험이 될 수 있음에도 불구하고 광학 분석에서는 감지할 수 없습니다.

유리 섬유 : 광학 이미지	유리 섬유 : SEM 이미지

광학 및 SEM 분석 결과에서는 서로의 입자 수를 비교할 수 없습니다.:
입자를 검출하기 위함 “보는” 방법이 서로 다릅니다.

SEM-EDX vs LIBS(레이저 유도 플라즈마 분광분석법):

LIBS 옵션이 있는 광학 현미경은 광학 현미경을 사용하여 찾을 수 있는 물질 특성에 대해서만 입자를 분석할 수 있습니다.

결과적으로 중요한 물질들(유리, 염분, 연마 물질 등이) 이 분석에서 제외됩니다.

SEM-EDX vs LIBS – 장점과 단점