JOMESA PSE의 작동 모드
JOMESA
PSE는
4가지
작동 모드를 제공합니다:
• 수동
상관검사 모드
• 자동
상관검사 모드
• 크기구간
상관검사 모드
• SEM-EDX 필터
분석 모드
1.
수동
상관검사 모드:
이
모드에서 시스템은 공통
데이터베이스에서
JOMESA
HFD로
표시된 입자의 좌표를
읽고 해당 위치로 이동합니다.
그러면
사용자는 SEM
이미지와
EDX
스펙트럼을
만들 수 있습니다.
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2. 자동 상관검사 모드 :
이 모드에서 시스템은 공통 데이터베이스에서 JOMESA HFD로 분석된 모든 입자의 좌표를 읽습니다. 그런 다음 시스템은 모든 입자에 대해 자동으로 이동하여 SEM 이미지 촬영 및 EDX 분석을 자동으로 수행합니다.
3.
크기구간
상관검사
모드:
이
모드에서 JOMESA
PSE 시스템은
광학(JOMESA
HFD) 시스템의
결과를 사용하여 자동으로
입자 클래스를 분석합니다.
예를
들어,
시스템이
모든 금속 입자 >
400 µm의
EDX분석을
수행하도록 지시할 수
있습니다.
결과는
여러 가지 방법으로
표시될 수 있습니다.
가능한
방법 중 하나는 물질별
크기 표를 생성하는
것입니다.
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4.
SEM 필터
분석 모드
이 모드에서는 필터의 선택된 영역이(또는 전체 필터) 스캔되고 BSE 검출기로 이미지가 촬영됩니다. 무기 입자는 어두운 유기 필터 배경에 비해 밝게 나타납니다. |
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이미지 분석을 통해 입자는 크기별로 감지 및 분석되며 모든 입자에서 EDS 스펙트럼이 기록됩니다.
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분석 후 입자는 크기와 물질 유형에 따라 분류됩니다. 물질별 크기 표는 용도에 맞게 자유롭게 구성할 수 있습니다. |
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