광학 현미경과 주사 전자 현미경 SEM의 상관 검사법

상관 검사법 : 광학 및 SEM 데이터 결합

광학 현미경: JOMESA HFD

SEM EDX: JOMESA PSE

JOMESA PSE 화면: 광학과 SEM 이미지 표시

EDX 분석 영역 선택

SEM vs LIBS:

LIBS 옵션을 갖춘 광학 현미경은 광학 분석에서 발견된 입자만 분석할 수 있습니다.
SEM 분석은 광학 데이터에서 볼 수 없는 입자에 대한 정보를 추가할 수 있습니다.

SEM 이미지는 광학 이미지와 상당히 다르게 보일 수 있으며 많은 정보를 확인할 수 있습니다.

광학 이미지	SEM 이미지

때로는 광학적 방법으로 중요한 요소(유리, 연마재)를 감지할 수 없는 경우도 있습니다.

Optical image (glass fiber)	SEM image (glass fiber)

광학(HFD) 방법과 SEM(PSE) 방법의 입자 수를 비교할 수는 없습니다.

이 두 가지 검출 원리는 입자가 서로 다르다고 “봅니다”