顕微鏡連携分析におけるフィルターとパーティクルトラップの使用方法

JOMESASEMフィルターマウントとSEMパーティクルトラップを製造しています。どちらの製品にも光学顕微鏡HFD)とSEMPSEのどちらでも視認でき2つのマーカーが施されてます。
両システム(HFDPSE)でマーカー位置を同期させることで、マーカーからの相対的な粒子座標を算出することができます。

フィルターと粒子をSEMフィルターマウントに固定液で固定

SEMパーティクルトラップは、オプションで個々を識別できるバーコードを付属させることもできます。





低真空下では固定無しも分析可能ですが、粒子損失(帯電による飛び跳ね)のリスクいため、低真空でも粒子固定液の使用を推奨します
フィルターを高真空分析するには、導電性付与液が必要です。このイオン液体は、CONHの元素のみを含んでいます

パーティクルトラップの分析は低真空でのみ可能で


専用のフィルター/パーティクルトラップホルダーにより、ホルダーを交換することなくサンプル直接分析できます。
写真 シングルステージ用フィルターホルダー

写真:4ステージ用フィルターホルダー