顕微鏡連携分析におけるフィルターとパーティクルトラップの使用方法

JOMESAはSEM用フィルターマウントとSEM用パーティクルトラップを製造しています。どちらの製品にも光学顕微鏡(HFD)とSEM(PSE)のどちらでも視認できる2つのマーカーが施されています。
両システム(HFDとPSE)でマーカー位置を同期させることで、マーカーからの相対的な粒子座標を算出することができます。

フィルターと粒子をSEMフィルターマウントに固定液で固定

SEM用パーティクルトラップには、オプションで個々を識別できるバーコードを付属させることもできます。





低真空下では固定液無しでも分析可能ですが、粒子損失(帯電による飛び跳ね)のリスクが高いため、低真空でも粒子固定液の使用を推奨します。
フィルターを高真空下で分析するには、導電性付与液が必要です。このイオン液体は、C、O、N、Hの元素のみを含んでいます。

パーティクルトラップの分析は低真空でのみ可能です。


専用のフィルター/パーティクルトラップホルダーにより、ホルダーを交換することなくサンプルを直接分析できます。
写真: シングルステージ用フィルターホルダー

写真:4ステージ用フィルターホルダー