SEM-EDXによる拡張分析
光学分析では検出できない（もしくは難しい）粒子でも、SEM分析では検出できます。更にはEDXスペクトル分析もできます。
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NaCl（塩）の光学画像：VDA19.1 / ISO16232の光学技法では検出不可 |
NaCl（塩）のSEM画像 |
SEM画像は光学画像とは見え方が大きく異なり、多くの情報を見い出すことができます。 |
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光学画像 |
SEM画像 |
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コランダムの光学画像 |
コランダムのSEM画像 |
一部の粒子（ガラス、研磨剤）は深刻なリスクとなり得るにもかかわらず光学分析では検出できません。 |
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光学画像 (ガラスファイバー) |
SEM画像 (ガラスファイバー) |
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光学とSEM双方の分析結果において粒子数を比較することはできません：
粒子を検出するための「見る」方法が両者は異なります。
材種 |
光学検出 |
SEM検出 |
有機物（繊維） |
良い |
悪い |
グラファイト |
良い |
悪い |
コランダム |
悪い |
非常に良い |
ガラス |
非常に悪い |
非常に良い |
塩類 |
悪い |
非常に良い |
SEM-EDX
vs
LIBS（レーザー誘起ブレークダウン分光法）：
分析できます。 |
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SEM-EDX
vs
LIBS ー
長所と短所
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LIBS |
SEM-EDX |
速度 |
非常に速い |
遅い（真空引きが必要） |
検出深さ |
100 µm |
1 - 2 µm |
粒子 |
光学顕微鏡で検出された粒子のみ |
全て（原子番号がボロン以上の元素） |
再測定 |
不可（粒子が破壊される） |
可（粒子はEDXで破壊されない） |
分析サイズ |
> 10 µm（レーザースポット径） |
< 1µm |
