파티클 트랩에는 그 위에 떨어지는 파티클을 "모으는 (traps)" 끈적끈적한 표면이 포함되어 있습니다. 파티클 트랩은 환경 오염을 측정하는 데 사용됩니다.

JOMESA 파티클 트랩의 청정도 (blank value)가 명시되고 규칙적으로 제어됩니다.






JOMESA 파티클 트랩 SPT60X60의 하단에는 마커가 2개 포함되어 있습니다. 마커는 광학 현미경과 SEM에서 볼 수 있습니다.


트랩을 실제로 측정하기 전에, 광학 SEM 현미경에서 마커의 위치를 측정함으로써 두 현미경의 좌표계가 동기화되고, 마커에 대한 트랩의 파티클 위치가 결정됩니다.


이 절차는 상관 현미경 (correlative microscopy)의 기초입니다.

상관 현미경은 광학 현미경(optical microscope)으로 트랩을 빠르게 스캐닝하고 평가한 다음, SEM-EDS에서 흥미로운 ("interesting") 파티클을 평가하는 것을 의미합니다. 그러므로, SEM에서 매우 오래 지속되는 full scan은 피해야 합니다.




파티클 트랩과 상부 유리 덮개 사이의 거리를 늘리는 "스페이서 (spacer)" 가 있는 파티클 트랩 유리 커버


스페이서는 입자가 상부 유리에 닿지 않도록 합니다.







JOMESA Particle Trap SPT-QR

SPT-QR 입자 트랩에는 각 트랩에 고유한 QR 코드가 포함되어 있습니다. 따라서 필기 표시나 라벨링 없이 자동 처리가 이루어집니다.