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REM EDX erweiterte Materialanalyse

Partikel welche nicht (oder schwierig) mit lichtoptischen Mikroskopen gefunden werden, sind im REM detektierbar und daher mittels EDX analysierbar.





NaCl (Salz) Lichtmikroskop-Bild: Das Partikel kann kaum entdeckt werden

NaCl (Saz) : REM Bild



REM Bilder sind oft völlig anders als lichtmikroskopische Bilder und enthalten daher zusätzliche Informationen.





Lichtmikroskop

REM








Korund: lichtmikroskopisches Bild

Korund: REM Bild



Viele kritische Substanzen (Glas, abrasive Materialien) können lichtmikroskopisch nicht detektiert werden.





Lichtmikroskopisches Bild einer Glasfaser

REM Bild derselben Glasfaser




Man kann Partikelanzahlen lichtmikroskopisch - REM nicht vergleichen:
Diese beiden unterschiedlichen Detektionsarten "sehen" die Partikel unterschiedlich.


Material

Lichtmikroskopische Detektion

REM Detektion

Organisches Material (Fasern)

gut

schlecht

Graphit

gut

schlecht

Korund

schlecht

sehr gut

Glas

gar nicht

sehr gut

Salze

schlecht

sehr gut



REM-EDX gegenüber LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy):


Lichtmikroskope mit LIBS Option können nur Partikel hinsichtlich Materialbeschaffenheit analysieren, welche auch durch das Lichtmikroskop gefunden werden können.
Dadurch entgehen viele kritische (Glas, Salze, abrasive Stoffe etc.) Materialien einer Analyse.




REM EDX gegenüber LIBS, Vor- und Nachteile

LIBS

REM-EDX

Geschwindigkeit

Sehr schnell

Langsam (benötigt Vakuum)

Eindringtiefe

100 µm

1-2 µm

Partikel

Nur lichtmikroskopisch detektierbare

Alle Partikel mit Elementen > Bor

Wiederholbarkeit

Nein (Partikel werden zerstört)

Ja (EDX Analyse ist nicht zerstörend)

detektierbare Größe

Nur Partikel > 10 µm (laser spot)

< 1µm