顕微鏡連携分析：光学データとSEMデータの組合せ
|
|
光学顕微鏡：JOMESA HFD
|
SEM-EDX：JOMESA PSE
|
JOMESA PSEのモニター：光学画像とSEM画像を同時に表示 |
|
EDX解析エリアの選択 |
|
|
SEM-EDX vs
LIBS：
LIBS搭載の光学顕微鏡は、光学的に検出された粒子のみ分析できます。
SEMは光学的に検出されない粒子も分析できます。
SEM画像は光学画像とは見え方が大きく異なり、多くの情報を明らかにすることができます。 |
|
|
|
光学画像 |
SEM画像 |
|
|
一部の粒子（ガラス、研磨剤）は深刻なリスクとなり得るにもかかわらず光学的に検出できません。 |
|
|
|
光学画像 (ガラスファイバー) |
SEM画像 (ガラスファイバー) |
|
|
光学（HFD）分析とSEM（PSE）分析の粒子数を比較することはできません。
検出原理上、粒子を「見る」方法が両者は異なります。
材種 |
光学検出 |
SEM検出 |
有機物（繊維） |
良い |
悪い |
グラファイト |
良い |
悪い |
コランダム |
悪い |
非常に良い |
ガラス |
非常に悪い |
非常に良い |
塩類 |
悪い |
非常に良い |
