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パーティクルトラップは粘着シートを備えており、落下してきた粒子をこの粘着面で捕らえます。 パーティクルトラップは環境清浄度をモニタリングするために使用します
弊社では製品の清浄度(ブランク値)に基準を設け、定期的に管理しています。






JOMESAパーティクルトラップSPT60x60の裏板側(フィルターを配する側)には、光学顕微鏡とSEMの両方で認識可能なマーカーが2つ取り付けられています。
このマーカーを読み込むことで光学顕微鏡とSEMの両装置における座標系を同期させることができます。つまり、パーティクルトラップ上の各粒子の配置に対し、両装置の相関を取ることができます。

この操作は光学顕微鏡とSEMの連携測定において有効です。

連携測定とは光学顕微鏡でパーティクルトラップ全域のスキャンと分析を迅速に行い、SEM-EDX関心対象の粒子を更に詳しく分析する手法です。 この手法では、SEMで長時間を掛けてパーティクルトラップ全域をスキャンする必要がありません。




パーティクルトラップのガラスカバーにはスペーサーが取り付けられており、パーティクルトラップの粘着面とガラスカバーが接触しないよう一定の距離が確保されています。







JOMESAパーティクルトラップ SPT-QR

パーティクルトラップSPT-QRは個々にQRコードが割り当てられており、印付けやラベル書きの手間を省くことができます。