ガラスカバーで覆われたメンブレンフィルター

メンブレンフィルターを簡単かつ素早く固定するツールです。

フィルターを乾燥させると、表面にしわや波うちが生じます。しかし、どの顕微鏡も被写界深度には限界があり、広い合焦点深度を有するHFDであっても数ミリメートル(mm)に及ぶフィルター表面の高さ変化に対応すること困難です。
弊社の標準フィルターホルダーは、ガラスカバーが上から押さえてフィルター表面を平らにするとともに、測定中にフィルターが滑ってズレることがないよう固定します。
ガラスカバーを取り外した際、フィルター表面上にあった粒子がガラス面に付着します。したがって、フィルター表面上の粒子数量が変わってしまうため、このフィルターを再び測定することはできません。

このタイプのフィルターホルダーは、特殊な機構によりホルダー上のフィルターを滑って動かないよう固定するとともに、ドラム打面のようにフィルター表面を張り伸ばして平らにします。

フィルター表面とガラスカバーは接触しないため、同じフィルターを他の検査で再度使用することが可能です。(例：SEM-EDX)

ドラムストレッチ（HFD用）

６フィルター連続測定用ドラムストレッチ（HFD用）

ドラムストレッチ（MAT3用）

４フィルター連続測定用ドラムストレッチ（MAT3用）

パーティクルトラップは（製造）環境の清浄度を測定するために使用されます。
一般的に、その表面は粘着性があり、未使用時（納品時）は保護用フィルムや紙で覆われています。使用する際はこの保護フィルムを剥がし、その瞬間から表面に落下してくるあらゆる粒子がサンプリングされます。所定のサンプリング時間が経過した後に、保護用プラスチックカバーで再び覆います。
その後、パーティクルトラップ用ホルダに設置し、弊社HFDシステムで分析します。
ペトリ皿上のメンブレンフィルターは測定中に滑って動いてしまうため、この測定方法は利用できません。

ペトリ皿上のパーティクルトラップ（サンプリング前）

サンプリング完了後、保護カバーをします

弊社HFDシステムの専用ホルダーに設置したパーティクルトラップ （測定中、保護カバーは取り外します）

Φ90mmフィルターまで対応のホルダー