ガラスカバーで覆われたメンブレンフィルター

メンブレンフィルターを簡単かつ素早く固定するツールです。

フィルターは乾燥させた後、表面が平らではなくなってしまいます。しかし、どの顕微鏡システムにも被写界深度に限界があります。HFD(高焦点深度)でさえもミリメートル(mm)レベルの高さの変化に対応することはできません。
弊社の標準フィルターホルダーは、ガラスカバーがフィルターを上から押さえつけて平らにするとともに、測定中にフィルターが滑って動かないようにします。
ガラスカバーを取り外した際、フィルター表面にあった粒子がガラス面に付着します。したがって、フィルター表面の粒子含有量が変わってしまうので、このフィルターを再び測定することはできません。

このタイプのフィルターホルダーは、特殊な機構によりホルダー上のフィルターを滑って動かないよう固定するとともに、ドラムヘッドのように張り伸ばして平らにします。

フィルター表面とガラスカバーは接触しないため、同じフィルターを他の検査装置で再度使用することが可能です。(例 SEM-EDX)

ドラムストレッチ（HFD用）

６フィルター連続測定用ドラムストレッチ（HFD用）

ドラムストレッチ（MAT3用）

４フィルター連続測定用ドラムストレッチ（MAT3用）

パーティクルトラップは(製造)環境の清浄度を測定するために使用されます。
一般的に、その表面は粘着性があり、未使用時(納品時)は保護用フィルムや紙で覆われています。使用する際はこのカバーを剥がし、その瞬間から表面に落下してくるあらゆる粒子が捕集されます。規定の露出時間が経過した後に、保護用プラスチックカバーで再び覆います。
その後、パーティクルトラップ用ホルダに設置し、弊社HFDシステムで解析します。
ペトリ皿上のメンブレンフィルターは測定中に滑って動いてしまうため、この測定方法は利用できません。

ペトリ皿上のパーティクルトラップ（露出前）

規定露出時間経過後、保護カバーをします

弊社HFDシステムの専用ホルダーに設置したパーティクルトラップ (測定中、保護カバーは取り外します)

φ90mmフィルターまで対応のホルダー