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Bildanalyse System PicEd Cora: Partikelanalyse, Teilchenzählung


Partikelanalyse beginnt mit dem Auszählen von Teilchen. Sie ist wesentlicher Bestandteil der Bildanalyse. 

Der Einsatzbereich dieser Funktion ist sehr breit gestreut. Einige Beispiele für den Einsatz der Partikelanalyse:

- Körner in metallographischen Schliffen (Korngrößenverteilung)
- Luncker in Gussprodukten (Lochgrößenverteilung)
- Schmutzteilchen auf Filterkondensaten (Bestimmung der größten Schmutzpartikel, Partikelverteilung)
- Phasenanteilsbestimmung bei Legierungen
- Zellkernverteilungen in biologischen Untersuchungen

Der Ablauf einer Partikelanalyse:

Partikelanalyse Ausgangsbild Farbliche Markierung der Teilchen
Das Ausgangsbild ist aus 2 Aufnahmen zusammengesetzt. (Waferscheiben nach unterschiedlicher chemischer Reinigung. Die Teilchen die gezählt werden sollen werden farblich markiert. Hier sind es die hellen Flecken, die bei Reinigung Typ A im Mittel etwas kleiner scheinen.

Nach der Auszählung wird das Ergebnis z.B. in Form eines Histogramms präsentiert, welches auch Zusatzinformationen wie Mittelwert enthält.

Partikelanalyse Ergebniss bei normaler Reinigung Partikelanalyse Ergebniss bei Typ A Reinigung
Der rote Strich im Histogramm markiert den Mittelwert. Hier ist er 98µm². Bei diesem Bild ist der Mittelwert der hellen Flecken 66µm²

Neben der Analyse des Flächeninhaltes erlaubt PicEd Cora auch die Auswertung weiterer Objekteigenschaften wie Umfang oder maximaler Durchmesser. Ebenso lassen sich Kreise und Ellipsen gesondert detektieren.

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