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Bildanalyse System PicEd Cora: Partikelanalyse, Teilchenzählung |
Partikelanalyse beginnt mit dem Auszählen von
Teilchen. Sie ist wesentlicher Bestandteil der Bildanalyse.
Der Einsatzbereich dieser Funktion ist sehr breit gestreut. Einige Beispiele
für den Einsatz der Partikelanalyse:
- Körner in metallographischen Schliffen (Korngrößenverteilung)
- Luncker in Gussprodukten (Lochgrößenverteilung)
- Schmutzteilchen auf Filterkondensaten (Bestimmung der größten
Schmutzpartikel, Partikelverteilung)
- Phasenanteilsbestimmung bei Legierungen
- Zellkernverteilungen in biologischen Untersuchungen
Der Ablauf einer Partikelanalyse:
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| Das Ausgangsbild ist aus 2 Aufnahmen zusammengesetzt. (Waferscheiben nach unterschiedlicher chemischer Reinigung. | Die Teilchen die gezählt werden sollen werden farblich markiert. Hier sind es die hellen Flecken, die bei Reinigung Typ A im Mittel etwas kleiner scheinen. |
Nach der Auszählung wird das Ergebnis z.B. in Form eines Histogramms präsentiert, welches auch Zusatzinformationen wie Mittelwert enthält.
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| Der rote Strich im Histogramm markiert den Mittelwert. Hier ist er 98µm². | Bei diesem Bild ist der Mittelwert der hellen Flecken 66µm² |
Neben der Analyse des Flächeninhaltes erlaubt PicEd Cora auch die Auswertung weiterer Objekteigenschaften wie Umfang oder maximaler Durchmesser. Ebenso lassen sich Kreise und Ellipsen gesondert detektieren.