Der begrenzte Gesichtsfeldbereich von Mikroskopen erlaubt oft nicht die zu untersuchenden Objekte in der Gesamtheit mit der geforderten Genauigkeit aufzunehmen.
Moderne Bildanalyse erlaubt diese Begrenzung aufzuheben, indem aus Einzelbildern von Teilbereichen automatisch ein Gesamtbild berechnet wird.

Man nimmt das Objekt in Teilbereichen auf, indem mittels Verfahrtisch das Bauteil unter dem Mikroskop verschoben wird. Die Abspeicherung der Bildsequenz erfolgt auf Tastendruck, ohne aufwendige manuelle Speicherungen.

Folgendes Beispiel stellt eine eindruckvolle Dokumentation dar:

Bei der Bildzusammensetzung bleibt der Maßstab erhalten. 
Daher ist die Vermessung auch am zusammengesetzten Bild möglich.

Wie man am folgenden Beispiel (Korrosionsriss) deutlich sieht, können die Einzelaufnahmen versetzt sein. D. h. das Bauteil muss nicht exakt zur Verfahrrichtung justiert werden.